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壓電馬達(dá)控制器是直線壓電馬達(dá)，內(nèi)部采用 PZT 壓電式驅(qū)動(dòng)，直線運(yùn)動(dòng)行程可選6、10、 25、50、100mm，可達(dá)亞納米級(jí)分辨率?？蛇x配閉環(huán)伺服傳感器（增量式...

壓電納米定位臺(tái)是一款三維運(yùn)動(dòng)的壓電平 臺(tái)，行程可高達(dá) 100μm，適用于小型樣品的三維納米定位應(yīng)用。

二維壓電納米定位臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，柔性鉸鏈連接支撐傳動(dòng)，內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)X，Y軸200μm的位移，可以配置閉環(huán)傳感實(shí)現(xiàn)高精度掃描與定位。...

一維納米定位臺(tái)，為一維×向運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái)，可進(jìn)行10~200um范圍內(nèi)的納米級(jí)位置調(diào)整。