●該設(shè)備為公司根據(jù)客戶工藝需求定制，與某研究所國家重點實驗室聯(lián)合研制，先后獲得獎勵3項，用于固體潤滑、防腐和超硬表面改性等領(lǐng)域，服務(wù)于科研和國家重大項目需求，具有多功能、高穩(wěn)定的特點，歡迎各位聯(lián)合研制。

●設(shè)備主要由真空腔體、真空系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng)、離子轟擊系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和在線測量系統(tǒng)組成，同時匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng)，可根據(jù)客戶使用需求定制。

●真空腔體：φ900X1050，雙層水冷；（可根據(jù)實際需求定制）

●真空系統(tǒng)：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機械泵復(fù)合真空系統(tǒng)；

●真空抽速：4000-7000L/S，進口全量程復(fù)合真空計，全金屬防爆真空規(guī)；

●極限真空：6.7X10-5Pa；（根據(jù)客戶選擇主泵確定）；

●磁控靶組件：4個矩形靶，4個圓柱靶，根據(jù)客戶實際需要匹配中頻、射頻、脈沖直流濺射電源；

●離子源：2套線性離子源，匹配專用電源；

●氣路：4路反應(yīng)氣體，進口質(zhì)量流量計，1路毛細保護氣路；

●烘烤溫度：400℃，不銹鋼鎧裝加熱器，可拆卸快裝結(jié)構(gòu)；

●工件盤：導(dǎo)軌多工位行星工件盤2套（標準配置為12工位和24工位，可擴展數(shù)百件工件共同沉積），工件盤裝夾移動小車一輛；

●控制系統(tǒng)：西門子PLC+西門子人機界面+工業(yè)控制計算機。

●特別說明：該設(shè)備為公司與中科院某所合作研制，獲得國家科技進步、國家科技發(fā)明獎、機械工業(yè)科技進步一等獎和中科院重大設(shè)備專項等獎勵，公司提供一攬子技術(shù)解決方案，同時與合作伙伴共享知識產(chǎn)權(quán)。