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解決方案 | 半導(dǎo)體制造業(yè)關(guān)鍵零部件(上)

閱讀:615      發(fā)布時(shí)間:2024-3-8
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  隨著人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、汽車等各個(gè)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步,全球?qū)Π雽?dǎo)體的需求與日俱增。制造這些半導(dǎo)體的半導(dǎo)體制造設(shè)備中使用的零部件形狀千差萬別,并且要求高精度和表面質(zhì)量。經(jīng)常需要切割鋁材、使用難以加工的脆性材料,需要的機(jī)械加工。
 
  
       力豐代理的日本大隈OKUMA擁有滿足這些需求的先進(jìn)的加工機(jī),并針對各工件提出了優(yōu)異的加工技術(shù)以及解決方案。
 
  半導(dǎo)體制造業(yè)
 
  力豐集團(tuán)憑借其敏銳的市場洞察力和深厚的行業(yè)經(jīng)驗(yàn),精準(zhǔn)地把握著行業(yè)的多元需求。在與客戶保持緊密無間的溝通與合作中,我們致力于為客戶提供符合其需求的機(jī)床與全面的解決方案。
 
  關(guān)于半導(dǎo)體制造設(shè)備中不可少的零部件,以及在這些高精度加工中所涉及的要點(diǎn),力豐集團(tuán)有著詳盡的了解。我們深知,不同的工件需要不同類型的機(jī)床進(jìn)行加工。因此,我們精心挑選并詳細(xì)介紹了適合各類工件加工的機(jī)床。
 
  為了幫助您更深入地了解,我們將分三篇進(jìn)行詳細(xì)闡述。我們希望能夠?yàn)槟峁└忧逦?、全面的半?dǎo)體制造設(shè)備知識,為您的業(yè)務(wù)發(fā)展提供有力的支持。
 

密封件
 
  使用車削功能進(jìn)行高質(zhì)量面加工
 
  蝕刻設(shè)備等半導(dǎo)體制造設(shè)備零部件
 
  材質(zhì): A5083
 

        通過動(dòng)態(tài)傾斜車削實(shí)現(xiàn)高效車削加工
 
  1.在保持刀尖角度一定的條件下,旋轉(zhuǎn)傾斜軸(A軸)進(jìn)行車削
 
  2.還可以在避免工件與刀具干涉的同時(shí)加工內(nèi)徑底切
 
  3.通過用同一刀具加工內(nèi)徑底切部,消除接合面的高低差,實(shí)現(xiàn)提高加工面質(zhì)量
 
動(dòng)態(tài)傾斜車削功能(類似工件)
 
  自動(dòng)托板交換(APC)實(shí)現(xiàn)工序整合
 
  1.通過APC實(shí)現(xiàn)省人化和高效的工件交換
 
  2.需要正反面等多工序加工的工件一臺機(jī)床即可完成
 
機(jī)床推薦
 
  5軸控制立式加工中心
 
  MU-8000V-L
 
  具有操作性和加工能力的
 
  高精度5軸控制加工中心
 
  勻氣盤
 
  脆性材料精密孔加工
 
  蝕刻設(shè)備等用小直徑多孔板
 
  材質(zhì): 單晶硅
 
高精度主軸可穩(wěn)定加工脆性材料的多個(gè)小直徑孔
 
  1.主軸轉(zhuǎn)速
 
  20,000min-1(標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格)
 
  30,000min-1(特殊規(guī)格)
 
  2.通過抑制刀尖熱位移最小化的旋轉(zhuǎn)軸冷卻和精確控制主軸熱位移的主軸熱位移控制,實(shí)現(xiàn)高精度加工。
 
形狀精度誤差1μm(寬度20mm)(樣品工件)
 
  抑制振動(dòng)的機(jī)械結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)精密加工
 
  采用低重心結(jié)構(gòu),提高橫梁(立柱)和床身安裝部的剛性抑制振動(dòng)加工脆性材料時(shí)防止刀具和工件損壞。
 
機(jī)床推薦
 
高精密部件、模具加工用立式加工中心
 
  MP-46V
 
  模具、高精度部件的生產(chǎn)效率大幅度提高
 
  實(shí)現(xiàn)更高水準(zhǔn)的加工面質(zhì)量
 
  螺  桿
 
  一臺即可處理各種長度的螺桿
 
  半導(dǎo)體制造設(shè)備用真空機(jī)器零部件
 
  材質(zhì):SUS316
 
穩(wěn)定加工長工件
 
  1.將中心架安裝到下刀架以支撐工件
 
  2.中心架可實(shí)現(xiàn)長工件的穩(wěn)定加工
 
  3.通過改變中心架的夾持位置,可處理各種長度的工件
 
下刀架的中心架實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定加工
 
  Thermo-Friendly Concept
 
  1.確保穩(wěn)定的加工精度通過其出色的尺寸穩(wěn)定性,即使長時(shí)間連續(xù)加工,也能確保其穩(wěn)定的尺寸精度。
 
  2.時(shí)效熱位移10μm以下(實(shí)測值)
 
機(jī)床推薦
 
智能化復(fù)合加工中心
 
  MULTUS U3000
 
  高精度、高剛性、高性能、
 
  工序整合將所有需求凝聚為1臺的
 
  復(fù)合加工中心
 
  
       本文先簡要概述了半導(dǎo)體制造設(shè)備中的三個(gè)關(guān)鍵零部件—密封件、勻氣盤與螺桿,及加工技術(shù)和適配機(jī)床。
 
  期待在后續(xù)篇幅中,進(jìn)一步深入探索,為您揭示半導(dǎo)體制造設(shè)備中更多的秘密,助您的事業(yè)蓬勃發(fā)展。
 
  敬請持續(xù)關(guān)注,精彩內(nèi)容即將揭曉。
 

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