激光干涉儀精度誤差補償系統(tǒng)的應(yīng)用

 

　　激光具有高強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。

 

　　激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。

 

　　激光干涉儀精度誤差補償系統(tǒng)的應(yīng)用

 

　　1.硬件平臺

 

　　本試驗平臺選用科德數(shù)控股份有限公司自主研制的五軸高檔數(shù)控機床KMC800，使用激光干涉儀對其進行誤差數(shù)據(jù)采集和直線軸精度測試。平臺設(shè)計如圖1所示，試驗中所選用的數(shù)控系統(tǒng)為科德數(shù)控股份有限公司自主研發(fā)的高檔五軸數(shù)控系統(tǒng)GNC61，激光干涉儀為雷尼紹公司的產(chǎn)品。

 

　　2.精度補償?shù)那疤釛l件

 

　　在進行精度補償時，機械精度誤差往往會摻雜進來，所以在對機床進行定位精度檢測前，需要調(diào)整完畢機床各軸的平行度和垂直度等幾何精度，以盡量減少幾何精度對定位精度的影響。

 

　　3.試驗數(shù)據(jù)

 

　　精度補償前的試驗數(shù)據(jù)如圖6所示，補償后的試驗數(shù)據(jù)如圖7所示。表中列出了補償前后的實際數(shù)據(jù)對比。