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蘇州芯矽電子科技有限公司


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12寸晶圓單片清洗機(jī) 芯矽科技

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參   考   價: ￥ 10000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地蘇州市

聯(lián)系方式：陳查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-06-03 13:42:50瀏覽次數(shù)：51次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：18條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：陳 （銷售）

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 國產(chǎn) 超聲波功率 自定義w
超聲波頻率 自定義Hz 界面語言 中文,英文
內(nèi)槽尺寸（長×寬×高） 自定義mm 清洗槽數(shù) ≥5槽
售后保修期 24個月 外形尺寸（長×寬×高） 自定義mm
銷售區(qū)域 全國,華東,華南,華北,華中,東北,西南,西北,港澳臺,海外 重量 自定義kg
自動化程度 全自動    

12寸晶圓單片清洗機(jī)專為半導(dǎo)體制程設(shè)計，采用單片獨立清洗模式，避免交叉污染，確保晶圓表面潔凈度達(dá)納米級標(biāo)準(zhǔn)。設(shè)備支持多種化學(xué)藥液（如HF、H?O?等）與兆聲波聯(lián)合清洗，精準(zhǔn)去除光刻膠殘留、氧化物及顆粒污染物，適用于12英寸單晶硅、多晶硅及金屬膜等材料的前道刻蝕后清洗、背面處理等工藝。其腔室微環(huán)境控制能力優(yōu)異，溫差≤±0.5℃，流速均勻性高，搭配高效藥液回收系統(tǒng)（回收率≥95%），降低耗材成本。

詳細(xì)介紹

一、產(chǎn)品概述

SC-3080A型12寸晶圓單片清洗機(jī)是專為半導(dǎo)體制程設(shè)計的設(shè)備，采用單片獨立清洗模式，結(jié)合化學(xué)濕法與兆聲波技術(shù)，實現(xiàn)納米級顆粒、有機(jī)物及金屬污染物的高效去除。設(shè)備兼容12英寸單晶硅、化合物半導(dǎo)體（如GaN、SiC）及金屬膜層晶圓，廣泛應(yīng)用于前道刻蝕后清洗、光刻膠剝離、背面處理等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)，滿足集成電路、功率半導(dǎo)體及封裝領(lǐng)域?qū)崈舳鹊膰?yán)苛要求。

二、核心性能優(yōu)勢

精準(zhǔn)清洗能力：

支持兆聲波（1MHz）空化效應(yīng)與化學(xué)藥液（如SC-1、SC-2標(biāo)準(zhǔn)配方）聯(lián)合作用，剝離≤0.1μm顆粒及頑固殘留物，清洗后表面潔凈度達(dá)Class 10標(biāo)準(zhǔn)。

噴淋系統(tǒng)搭配流體動力學(xué)設(shè)計，流速均勻性誤差＜5%，溫差控制±0.3℃，避免局部腐蝕或干燥水印缺陷。

高效產(chǎn)能與自動化：

單片清洗周期≤4分鐘，可選配4腔或8腔模塊化設(shè)計，支持每小時處理90-180片（視工藝復(fù)雜度）。

集成自動上下料機(jī)械臂（可選配AGV對接），兼容MES系統(tǒng)，實現(xiàn)工藝參數(shù)實時監(jiān)控與數(shù)據(jù)追溯。

低損傷與穩(wěn)定性：

非接觸式離心干燥技術(shù)（殘水率＜3ppm），結(jié)合軟包覆傳輸爪，避免薄片（厚度≤100μm）碎裂或劃痕。

腔體采用316L不銹鋼+特氟龍涂層，耐HF、緩沖氧化物腐蝕（pH 2-12），壽命＞10年。

三、關(guān)鍵技術(shù)與配置

清洗模式：

兆聲波清洗：底部換能器產(chǎn)生高密度微射流，精準(zhǔn)清除亞微米顆粒。

化學(xué)噴淋：多區(qū)段獨立噴淋臂，支持DF（稀釋沖洗）- HF浸泡 - DIW漂洗流程。

藥液管理：

封閉式藥液循環(huán)系統(tǒng)，回收率≥95%，支持自動補液與濃度監(jiān)測（RFID傳感器）。

PFA管路+氟橡膠密封圈，杜絕交叉污染。

干燥系統(tǒng)：

熱風(fēng)（溫度可控40-120℃）+ 高速旋轉(zhuǎn)（3000rpm）組合干燥，兼容低K介質(zhì)晶圓。

四、應(yīng)用場景

前道制程：光刻后殘留物清洗、蝕刻后金屬污染去除。

后道封裝：芯片粘接前表面活化、TSV（硅通孔）結(jié)構(gòu)清潔。

特殊工藝：第三代半導(dǎo)體（GaN、SiC）圖形化晶圓清洗。

關(guān)鍵詞：傳感器 AGV

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