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北京瑞邦精控科技有限公司

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QFL-XY系列雙軸氣浮運動臺

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產(chǎn)品型號

品牌AUSPRECISION

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地北京市

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更新時間：2024-04-28 11:39:24瀏覽次數(shù)：591次

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產(chǎn)品分類 品牌分類

  AUSPRECISION

北京瑞邦精控科技有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：5條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：王欣悅（銷售）

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	國產(chǎn)	應(yīng)用范圍	打磨,銑削,清洗,拋光/去毛刺,服務(wù)型,其他應(yīng)用

王欣悅1-8-1；
4-5-6-6；
8702。
QFL-XY系列雙軸氣浮運動臺
產(chǎn)品特點
開式氣浮疊層結(jié)構(gòu) 結(jié)構(gòu)緊湊、精度高
重復(fù)定位精度±50nm 直線度±0.1μm，平面度±0.15μm

詳細(xì)介紹

QFL-XY系列雙軸氣浮運動臺應(yīng)用領(lǐng)域

QFL-XY系列是一款結(jié)構(gòu)緊湊的雙軸氣浮運動臺，用于飛秒激光加工，超精密加工、測試測量、高精度掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)等行業(yè)，由于非接觸式運動，精度高和結(jié)構(gòu)緊湊是行業(yè)內(nèi)的理想選擇。

QFL-XY系列雙軸氣浮運動臺結(jié)構(gòu)特點

雙軸氣浮運動臺采用開式氣浮導(dǎo)軌，直線電機和光柵尺組成，永磁預(yù)載結(jié)構(gòu)，XY軸疊層具有體積小，精度高、工作點低等特點，能有效降低阿貝誤差。X軸比Y軸寬，作為底軸，整體性能更穩(wěn)定。非接觸式氣浮結(jié)構(gòu)，免維護運行，隨著時間推移，不會出現(xiàn)磨損或性能下降。

精度性能

QFL-XY軸雙軸氣浮運動臺的定位精度±0.1μm，雙向重復(fù)定位精度±50nm，直線度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec，以上為全行程精度指標(biāo)，由于非接觸式運動結(jié)構(gòu)，氣浮運動臺的跟隨誤差有了質(zhì)地提升，精度性能得到顯著提高。

線纜管理

使用高質(zhì)量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產(chǎn)生的擾動力影響可忽略不計，運動中線纜和氣管不影響氣浮運動臺的性能。此外，可提供帶屏蔽高柔線纜，提供系統(tǒng)抗干擾能力。

定制化

根據(jù)應(yīng)用，結(jié)構(gòu)可定制化設(shè)計，如增加平升或楔形Z軸，轉(zhuǎn)臺等。可配置大理石基座、立柱及橫梁，XY軸安裝到大理石基座上，Z軸安裝橋架上。可選配主動隔振系統(tǒng)，適合高抖動的應(yīng)用領(lǐng)域。

規(guī)格指標(biāo)

型號		單位	QFL-50XY		QFL-100XY		QFL-150XY
軸系		—	X	Y	X	Y	X	Y
行程		mm	50	50	100	100	150	150
補償后定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.1		±0.1		±0.1
	標(biāo)準(zhǔn)值		±0.2		±0.2		±0.2
雙向重復(fù)定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.05		±0.05		±0.05
	標(biāo)準(zhǔn)值		±0.1		±0.1		±0.1
直線度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.05		±0.05		±0.1
	標(biāo)準(zhǔn)值		±0.25		±0.25		±0.4
平面度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.1		±0.1		±0.15
	標(biāo)準(zhǔn)值		±0.35		±0.4		±0.5
Pitch Roll Yaw ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±0.35		±0.4		±0.5
	標(biāo)準(zhǔn)值		±1		±1		±1.5
正交性	Plus ⁽¹⁾	arc sec	5		2		2
	標(biāo)準(zhǔn)值		10		5		5
電子分辨率 ⁽³⁾		nm	0.3 或 5（選配）
速度 (空載) ⁽⁴⁾		mm/s	200
加速度 (空載) ⁽⁴⁾		m/s2	1,（5 定制）
負(fù)載		kg	10
供氣壓力 ⁽⁵⁾		MPa	0.5±0.05

注：

以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負(fù)載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)精度測試與負(fù)載尺寸及測試點高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測試，請咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級版。

2. 取決于平臺安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。

4. 空載條件下指標(biāo)，速度和加速度取決于負(fù)載大小。

5. 為保護氣浮導(dǎo)軌不建議加裝壓力保護開關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。

關(guān)鍵詞：平臺電機導(dǎo)軌控制器光柵尺

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