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三坐標(biāo)測(cè)頭誤差來源及誤差分析
閱讀：593 發(fā)布時(shí)間：2022-9-7三坐標(biāo)測(cè)頭誤差來源及誤差分析
對(duì)于接觸式觸發(fā)測(cè)頭誤差來源有2個(gè)：如下圖所示，由于側(cè)桿角位移必須到一定值后觸點(diǎn)才能斷開，因此測(cè)尖接觸工件到發(fā)出觸測(cè)信號(hào)之間有延遲；延遲的距離與觸測(cè)力FC和測(cè)桿長(zhǎng)度L成正比。由于測(cè)桿剛性的影響，在測(cè)尖探測(cè)工件時(shí)，測(cè)桿有彎曲變形。
對(duì)于非接觸式觸發(fā)測(cè)頭的誤差來源：由于光學(xué)光線的干涉和衍射現(xiàn)象。
常規(guī)接觸式測(cè)頭是由紅寶石材料做成,優(yōu)點(diǎn)是接觸變形和側(cè)向摩擦小,缺點(diǎn)是接觸力造成的局部彈性變形及安裝測(cè)球的測(cè)桿產(chǎn)生的彎曲變形很大,以及存在“各向異性"、“開關(guān)行程"、“開關(guān)行程分散性"、“復(fù)位死區(qū)"等誤差。目前市售的這類測(cè)頭的重復(fù)性精度只能達(dá)到微米及零點(diǎn)幾微米,使測(cè)量機(jī)整體測(cè)量的精度不能再得到提高。
非接觸測(cè)量的特點(diǎn)就是測(cè)量力為零,但光學(xué)式非接觸式測(cè)頭由于光線的干涉和衍射現(xiàn)象,其測(cè)頭精度只在微米量級(jí)。目前出現(xiàn)的幾種非接觸式光學(xué)測(cè)頭如瞄準(zhǔn)顯微鏡測(cè)頭、光學(xué)點(diǎn)位測(cè)頭和電視掃描測(cè)頭都是現(xiàn)有技術(shù)在三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上的應(yīng)用 ,其結(jié)構(gòu)復(fù)雜,應(yīng)用范圍非常狹小。