成像質(zhì)量良好，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔

立式結(jié)構(gòu)

操作方便，使用簡(jiǎn)單

波長(zhǎng)調(diào)諧式條紋分析系統(tǒng)

測(cè)量光學(xué)平面面型精度

測(cè)量光學(xué)元件的材料均勻性

對(duì)干涉條紋進(jìn)行數(shù)據(jù)分析處理，給出檢驗(yàn)報(bào)告

測(cè)量結(jié)構(gòu)：菲索干涉臥式結(jié)構(gòu)

通光口徑：小端口：φ100mm；大端口二：φ300mm

測(cè)試光源：半導(dǎo)體調(diào)諧激光光源，λ=632.8nm；

相機(jī)：分辨率1024×1024

φ100mm標(biāo)準(zhǔn)楔形鏡（TF鏡）：PV優(yōu)于λ/20（φ100mm內(nèi)）

φ300mm標(biāo)準(zhǔn)楔形鏡（TF鏡）：PV優(yōu)于λ/20；

φ300mm標(biāo)準(zhǔn)反射鏡（RF鏡）：PV優(yōu)于λ/20；

系統(tǒng)精度：PV值 λ/20；

系統(tǒng)重復(fù)性精度：RMS重復(fù)性優(yōu)于λ/2000；

ZOOM變焦：1-6X連續(xù)變焦；

測(cè)試對(duì)準(zhǔn)方式與角度：快對(duì)準(zhǔn)與精密對(duì)準(zhǔn)方式，對(duì)準(zhǔn)角度≥±15°/±3°

尺寸：2400×1200×500mm

重量：約260Kg