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石英光罩業(yè)內(nèi)又稱光掩模版、掩膜版，英文名稱MASK或PHOTOMASK，光罩的功能就是利用光刻機(jī)發(fā)出的光通過(guò)具有圖形的光罩對(duì)涂有光刻膠的薄片曝光，這就是光刻的作用，類似照相機(jī)照相。照相機(jī)拍攝的照片是印在底片上，而光刻刻的不是照片，而是電路圖和其他電子元件，通俗來(lái)講光刻機(jī)就是放大的單反，光刻機(jī)就是將光罩上的設(shè)計(jì)好集成電路圖形通過(guò)光線的曝光印到光感材料上，形成圖形。光罩的作用如此重要，所以其表面平面度的檢測(cè)需求也非常高，一般的測(cè)量工具并不符合光罩的精度需求，使用接觸式測(cè)量方式還有可能對(duì)光罩表面形成劃痕等瑕疵，所以?？扑技す馄矫娑葴y(cè)量?jī)x是測(cè)量光罩平面度的理想選擇。

激光平面度測(cè)量?jī)x相較于通用型測(cè)量工具明顯的優(yōu)點(diǎn)就是：①精度高②無(wú)損③效率高。激光平面度平整度測(cè)量?jī)x通過(guò)高精度激光測(cè)頭對(duì)工件表面進(jìn)行掃描取點(diǎn)，以獲取工件表面的輪廓數(shù)據(jù)，再以此做平面度及翹曲度計(jì)算，無(wú)論是抽檢或是全檢皆適用，只需要預(yù)設(shè)好平面度、翹曲度、平整度等數(shù)據(jù)的監(jiān)控值，測(cè)量完成后就會(huì)在屏幕上直接觀看當(dāng)前工件NG/OK以及詳細(xì)數(shù)據(jù)。激光平面度測(cè)量?jī)x的高運(yùn)算快速測(cè)量的特性使得測(cè)量一片工件只需要0.5秒，對(duì)比傳統(tǒng)的平面度測(cè)量方法大大縮減了用時(shí)，幫助光罩制造業(yè)快速提升產(chǎn)業(yè)鏈。

海科思有多款適用于手機(jī)行業(yè)的測(cè)量設(shè)備，可根據(jù)您的實(shí)際需求進(jìn)行配置以及尺寸的更改，如果您的工件有測(cè)量設(shè)備的需求歡迎致電?？扑既珖?guó)服務(wù)熱線：