詳細(xì)介紹
- 感應(yīng)方向:±X、±Y、+Z。
- 單方向往返精度(2σ):0.35 um。
- XY平面預(yù)定行程變化:±0.60 um。
- 重量:56g。
- 測針感測力量(可調(diào)式):11-30g。
- 測針力量(原廠設(shè)定值設(shè)定):11-13g。
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更新時間:2022-06-03 12:45:10瀏覽次數(shù):221
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