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東莞市高騰達(dá)精密工具有限公司
初級(jí)會(huì)員 | 第5年

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日本UNION DCM-40/60 用于微電子行業(yè),半導(dǎo)體行業(yè)

時(shí)間:2023/10/4閱讀:178
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

兩面觀察測(cè)量顯微鏡產(chǎn)品介紹

兩面觀察測(cè)量顯微鏡

品牌:日本UNION

型號(hào):DCM-40/60


DCM-40/60是一款設(shè)計(jì)*的顯微鏡,可分別或同時(shí)觀察物體的表面和底面圖像,并對(duì)兩圖像進(jìn)行比較,還可以通過測(cè)量裝置測(cè)量?jī)蓤D像(表面和底面)的偏差??蛇x的物鏡有五種,放大倍率從50X~100X。測(cè)量精度可達(dá)1μm。


DCM-40/60主要應(yīng)用于微電子行業(yè),特別是在半導(dǎo)體行業(yè)。產(chǎn)品上下面尺寸有偏移時(shí)就可以直接對(duì)比測(cè)量,減少其它間接測(cè)量方式的誤差且不會(huì)損壞產(chǎn)品。例如:晶圓劃片基準(zhǔn)印字偏移,柔性線路板線路間距,陶瓷電容片切割對(duì)位和IC框架邊緣質(zhì)量等應(yīng)用。


規(guī)格:

型號(hào)

DCM-40

DCM-60

物鏡

5X, 10X, 20X ,40x, 100X

5X, 10X, 20X ,40x, 100X

工作臺(tái)

50X50mm ~100X100mm

150X150mm

光源

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工件厚度

20mm

30mm

選配件

照相系統(tǒng)、TV系統(tǒng)

測(cè)量步驟:

1.將"光路選擇開關(guān)"旋轉(zhuǎn)到"Top& Bottom"位置,調(diào)整上、下物體的光軸至重合。

2.將工件置于工作臺(tái)上。旋轉(zhuǎn)"光路選擇開關(guān)""Top" 位置,對(duì)焦上表面. .

3.旋轉(zhuǎn)光路選擇開關(guān)""Bottom" 位置, 對(duì)焦下表面。.

4.將光路選擇開關(guān)"旋轉(zhuǎn)到"Top &Bottom"位置,測(cè)量?jī)蓤D像的位置偏差。



設(shè)備:



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