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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
兩面觀察測(cè)量顯微鏡產(chǎn)品介紹
兩面觀察測(cè)量顯微鏡
品牌:日本UNION
型號(hào):DCM-40/60
DCM-40/60是一款設(shè)計(jì)*的顯微鏡,可分別或同時(shí)觀察物體的表面和底面圖像,并對(duì)兩圖像進(jìn)行比較,還可以通過測(cè)量裝置測(cè)量?jī)蓤D像(表面和底面)的偏差??蛇x的物鏡有五種,放大倍率從50X~100X。測(cè)量精度可達(dá)1μm。
DCM-40/60主要應(yīng)用于微電子行業(yè),特別是在半導(dǎo)體行業(yè)。產(chǎn)品上下面尺寸有偏移時(shí)就可以直接對(duì)比測(cè)量,減少其它間接測(cè)量方式的誤差且不會(huì)損壞產(chǎn)品。例如:晶圓劃片基準(zhǔn)印字偏移,柔性線路板線路間距,陶瓷電容片切割對(duì)位和IC框架邊緣質(zhì)量等應(yīng)用。
規(guī)格:
型號(hào) | DCM-40 | DCM-60 |
物鏡 | 5X, 10X, 20X ,40x, 100X | 5X, 10X, 20X ,40x, 100X |
工作臺(tái) | 50X50mm ~100X100mm | 150X150mm |
光源 | 150W鹵素?zé)?span style="line-height: inherit; font-weight: inherit; font-style: inherit; vertical-align: baseline; -webkit-tap-highlight-color: transparent; -webkit-appearance: none;">2套 | 150W鹵素?zé)?span style="line-height: inherit; font-weight: inherit; font-style: inherit; vertical-align: baseline; -webkit-tap-highlight-color: transparent; -webkit-appearance: none;">2套 |
工件厚度 | 20mm | 30mm |
選配件 | 照相系統(tǒng)、TV系統(tǒng) |
測(cè)量步驟:
1.將"光路選擇開關(guān)"旋轉(zhuǎn)到"Top& Bottom"位置,調(diào)整上、下物體的光軸至重合。
2.將工件置于工作臺(tái)上。旋轉(zhuǎn)"光路選擇開關(guān)"到"Top" 位置,對(duì)焦上表面. .
3.旋轉(zhuǎn)“光路選擇開關(guān)"到"Bottom" 位置, 對(duì)焦下表面。.
4.將“光路選擇開關(guān)"旋轉(zhuǎn)到"Top &Bottom"位置,測(cè)量?jī)蓤D像的位置偏差。
設(shè)備:
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請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
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