產(chǎn)品型號(hào)

SKCC-ZZB-X（高真空磁控濺射自旋轉(zhuǎn)靶頭）

產(chǎn)品規(guī)格

2寸，SKCC-ZZB-2

3寸，SKCC-ZZB-3

4寸，SKCC-ZZB-4

5寸，SKCC-ZZB-5

6寸，SKCC-ZZB-6

7寸，SKCC-ZZB-7

主要特點(diǎn)

1、轉(zhuǎn)靶帶擋板（可電動(dòng)控制，可手動(dòng)控制）；

2、采用電磁場(chǎng)的有元計(jì)算法來設(shè)計(jì)永磁體，以得到較高的磁場(chǎng)強(qiáng)度和均勻分布；

3、轉(zhuǎn)靶轉(zhuǎn)速5~60轉(zhuǎn)/分可調(diào)；

4、標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配。

5、安裝采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭，便于操作。

6、靶材更換較為簡(jiǎn)單，無需調(diào)整濺射頭的高度。

配套電源

1、直流DC；2、射頻RF