詳細(xì)介紹 符合半導(dǎo)體FOUP盒規(guī)格,不受地面材質(zhì)、顏色、反射率的 影響,準(zhǔn)確檢測FOUP盒的落座情況薄型設(shè)計可實現(xiàn)搬運臂上的搭載4方向指示燈提高視覺辨識性以光學(xué)方式檢測驅(qū)動器的動作,實現(xiàn)超長使用壽命(機械 壽命500萬次以上)備有NPN/PNP兩種輸出模式還備有柔韌性佳的耐曲折導(dǎo)線型