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超精密加工機床系統(tǒng)總的發(fā)展趨勢是要求高的加工表面質(zhì)量和面形精度，加工尺寸趨于和兩個方向，同時要求復(fù)雜形面、不同材料的加工適應(yīng)性等。
　　檢驗平板在提高加工表面質(zhì)量、面形精度方面，一方面繼續(xù)提高機床的精度、穩(wěn)定性，另一方面通過加工工藝進步引入復(fù)合加工功能等，如在多軸超精密自由曲面磨床上引入進動拋光等準(zhǔn)確定性加工功能以提高表面質(zhì)量和面形精度。
　　超精加工所能達(dá)到的表面質(zhì)量、面形精度與元件尺寸、形狀、材料相關(guān)。對于具有復(fù)合加工功能的機床，輔以測量技術(shù)還可進一步從加工工藝上提高精度。
　　近年來，太赫茲(THz)作為一門新興技術(shù)得到了廣泛重視。太赫茲頻譜介于微波與紅外之間。太赫茲的性能給反隱身探測、電子對抗、電磁、寬帶通信、天文學(xué)、醫(yī)學(xué)成像、無損檢測、安 全檢查等領(lǐng)域帶來了深遠(yuǎn)的影響。太赫茲是未來超精密加工技術(shù)與機床廣泛和重要的應(yīng)用領(lǐng)域。
　　從大的尺度來說，太赫茲應(yīng)用需求巨大，如太赫茲天線鏡面加工需求。
　　在小的尺度方面，太赫茲系統(tǒng)中的微型波紋喇叭天線(毫米級復(fù)雜形狀內(nèi)腔、微米級加工精度)是未來所需解決的超精密加工難題之一。
　　超精密微機械加工機床的關(guān)鍵技術(shù)不在機床自身尺寸。由于運動精度要求，這種機床尺寸不能做得太小，因而其關(guān)鍵技術(shù)在于機床結(jié)構(gòu)，如工件的裝夾，在位測量、調(diào)整、對刀、微型超精密刀具等。
　　在加工面形的復(fù)雜度方面，由于太赫茲波束控制元件表面電磁特性，其設(shè)計元件面形復(fù)雜，如非對稱貝武形自由曲面等。
　　由于各種條件限制，超精密機床不可能做得太大。對于硬脆材料的超大型應(yīng)用，如深空望遠(yuǎn)鏡拼接式離軸非球面鏡片可用相應(yīng)尺寸的多軸超精密自由曲面磨床加工解決，但對于太赫茲應(yīng)用的金屬基(如鋁基等)相同尺寸或復(fù)雜面形元件，這種機床就不適宜。
　　關(guān)于機門的未來趨勢，應(yīng)發(fā)展超精密加工機床，實現(xiàn)較大矢高大型賦形復(fù)雜曲面零件的加工能力。
　　在加工材料方面，太赫茲應(yīng)用 具多樣性。
　　發(fā)展超精密加工機床與系統(tǒng)，需突破解決的關(guān)鍵技術(shù)包括：高精度、高分辨率、高穩(wěn)定、大位移坐標(biāo)測量系統(tǒng)，控制算法(自適應(yīng)控制、二階動態(tài)無差控制等)的高性能多軸運動控制器及精度環(huán)境控制技術(shù)等。
　　鑄鐵平臺研磨過程中應(yīng)該注意以下幾點：
　　1、要選用好的研磨粉，工作場所要清潔，以免工件表面被刮毛。
　　2、掌握好研磨的速度和研磨的壓力；對準(zhǔn)確度高和形狀復(fù)雜的表面，研磨速度應(yīng)該低一些。研磨壓力大小由工件材料和磨具材料的性質(zhì)等因素決定的。研磨壓力為0.15~0.2MPa時研磨效率較高。
　　3、研磨時，一般先用較大壓力和較低速度進行粗研，幾何形狀基本合格后，再用較小壓力和較高速度精研。
　　4、選用合適磨具，以免磨具耗損太快。