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伯東企業(yè)(上海)有限公司
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上海伯東 氦質(zhì)譜檢漏儀光刻機(jī)檢漏

時(shí)間:2023/2/24閱讀:394
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因產(chǎn)品配置不同,價(jià)格貨期需要電議,圖片僅供參考,一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)。氦質(zhì)譜檢漏儀光刻機(jī)檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀光刻機(jī)檢漏
上海伯東客戶日本某生產(chǎn)半導(dǎo)體用光刻機(jī)公司, 光刻機(jī)真空度需要達(dá)到 1x10-11 pa 的超高真空, 因?yàn)樵O(shè)備整體較大, 需要對(duì)構(gòu)成光刻機(jī)的真空相關(guān)部件進(jìn)行檢漏且要求清潔無(wú)油, 滿足無(wú)塵室使用要求, 為了方便進(jìn)行快速檢漏, 采購(gòu)伯東 Pfeiffer 便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310.

光刻機(jī)檢漏方法: 采用真空模式檢漏, 漏率值設(shè)定為 1x10-11pa m3/s.
1. 通過(guò)波紋管與光刻機(jī)真空系統(tǒng)連接
2. 使用噴槍, 噴掃管路, 腔體焊縫, 接頭等部位, 如果存在超過(guò)設(shè)定漏率值的狹縫, 檢漏儀會(huì)時(shí)時(shí)發(fā)出聲光報(bào)警, 同時(shí)在屏幕上顯示漏率值.
氦質(zhì)譜檢漏儀光刻機(jī)檢漏
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 主要技術(shù)參數(shù):

對(duì)氦氣的最小檢測(cè)漏率

真空模式 5E-13 Pa m3/s ,吸槍模式 1E-8 Pa m3/s

檢測(cè)模式

真空模式和吸槍模式
檢漏方法>>

氦質(zhì)譜檢漏儀無(wú)油前級(jí)泵抽速

1.7 m3/h

檢測(cè)氣體

4He , 3He, H2

響應(yīng)時(shí)間

<1s

對(duì)氦氣的抽氣速度

1.1 l/s

氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)氣法蘭

DN 25 ISO-KF

進(jìn)氣口max壓力

15 hPa

通訊接口

RS-232

工作溫度

10-40 °C

噪音水平

< 45 dB (A)

尺寸

350 X 245 X 141 mm

重量

21 kg (46 lb)

鑒于客戶信息保密, 若您需要進(jìn)一步的了解光刻機(jī)檢漏, 請(qǐng)聯(lián)絡(luò)上海伯東鄧女士,分機(jī)134


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