IPEXTM 840/860系列工業(yè)級*

應(yīng)用于電子、通信、半導(dǎo)體、醫(yī)療設(shè)備和脈沖激光沉積的工業(yè)級*

ª 采用ICONTM技術(shù)，延長氣體壽命，降低成本

ª EasyClean自動密封鏡片功能，可在清洗更換鏡片時密封激光腔

ª 可選高亮度光學(xué)元件，來滿足要求小發(fā)散角和長相干長度的應(yīng)用

ª 高穩(wěn)定鏡片支架可獲得*的光束指向精度

ª 易于集成到工業(yè)加工系統(tǒng)

IPEX-840/860系列*性能*、可靠性高，廣泛適用于使用要求高、生產(chǎn)負(fù)荷重的各種工業(yè)制造領(lǐng)域，如電子、半導(dǎo)體和醫(yī)療設(shè)備制備以及脈沖激光沉積（PLD）等應(yīng)用。由于采用了ICONTM(鎳基集成陶瓷)技術(shù)，IPEX系列激光器既降低了運(yùn)行成本，又能提供優(yōu)秀的光學(xué)性能。對于需要長工作光路和小發(fā)散角（激光雷達(dá)），或需要長相干長度（FBG刻寫）以及需要改進(jìn)聚焦性能的場合，可以選擇高亮度（非穩(wěn)腔）鏡片。IPEX-840/860系列激光器具有易于使用、便于維護(hù)和運(yùn)行經(jīng)濟(jì)的特點(diǎn)，它將高精密準(zhǔn)分子激光加工、低運(yùn)行成本和高運(yùn)行時間很好地結(jié)合在一起，是一款*的優(yōu)秀的*。

特點(diǎn)

ª ICON激光腔

ª EasyClean自動密封鏡片功能

ª *的鏡片支架

ª 腔鏡固定技術(shù)

ª 能量穩(wěn)定控制

ª 預(yù)電離

ª 內(nèi)部氣體過濾設(shè)備

優(yōu)點(diǎn)

ª 氣體壽命長，更換時間間隔長，運(yùn)行成本低

ª 簡化了光路維護(hù)，填充氣體和鈍化效果保持*

ª 200μrad指向穩(wěn)定性

ª 鏡片清潔重裝后不需要重新調(diào)節(jié)

ª 快速、精確、穩(wěn)定的能量控制，可選內(nèi)、外觸發(fā)和Burst工作模式

ª 優(yōu)異的能量穩(wěn)定性，≤1.5% (KrF)

ª 去除微粒，保持主鏡片潔凈

規(guī)格

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