高精密鏡面火花機(jī)加工表面和機(jī)械加工表面不同，它是由無方向性的無數(shù)小坑和硬凸邊所組成，特別有利于保存潤滑油；而機(jī)械加工表面則存在著切削或磨削刀痕，具有方向性。兩者相比，在相同的表面粗糙度和有潤滑油的情況下，高精密鏡面火花機(jī)表面的潤滑性能和耐磨損性能均比機(jī)械加工的表面好。
與機(jī)械加工一樣，高精密鏡面火花機(jī)加工表面粗糙度通常用微觀輪廓平面度的平均算術(shù)偏差值Ra或微觀輪廓不平度平均高度值Rz來表示，單位Um。另外，還有用微觀輪廓平面度的高度Rmax來表示的。在國外，表面光潔度也使用VDI標(biāo)準(zhǔn)，只是單位換算的問題。
在采用表面粗糙度新國標(biāo)以前的八十年代，我國曾采用▽1∽▽14級的光潔度等級，現(xiàn)采用國際通用的表面粗糙度Ra、Rz、Rmax，如下表是原表面光潔度▽與平均算術(shù)偏差Ra、平均高度偏差Rz和高度偏差Rmax的對照表。
原表面光潔度等級與新國標(biāo)表面粗糙度值對照表
| 原光潔度等級 ▽ | 平均算術(shù)偏差 Ra(Um) | 平均高度偏差 Rz(Um) | 高度偏差 Rmax(Um) |
▽1 >40∽80 >160∽320 >320∽640
▽2 >20∽40 >80∽160 >160∽320
▽3 >10∽20 >40∽80 >80∽160
▽4 >5∽10 >20∽40 >40∽80
▽5 >2.5∽5 >10∽20 >20∽40
▽6 >1.25∽2.5 >6.3∽10 >10∽20
▽7 >0.63∽1.25 >3.2∽6.3 >5∽10
▽8 >0.32∽0.63 >1.6∽3.2 >2∽5
▽9 >0.16∽0.32 >0.8∽1.6 >1∽2
▽10 >0.08∽0.16 >0.4∽0.8 >0.5∽1
▽11 >0.04∽0.08 >0.2∽0.4 >0.3∽0.5
▽12 >0.02∽0.04 >0.1∽0.2 >0.1∽0.3
▽13 >0.01∽0.02 >0.05∽0.1 >0.05∽0.1
▽14 ≤0.01 ≤0.05 ≤0.05
高精密鏡面火花機(jī)加工穿孔、型腔加工的表面粗糙度可分為底面粗糙度和側(cè)面粗糙度，同一規(guī)準(zhǔn)加工出來的側(cè)面粗糙度因?yàn)橛卸畏烹姷男薰庾饔?，往往要稍好于底面的粗糙度，一般能相差半級到一極。由于實(shí)際加工的表面粗糙度的不均勻性，一般用測量型腔底面粗糙度作為評定某一加工規(guī)準(zhǔn)的粗糙度。測量時，要測三點(diǎn)取其平均值。測量方法可用輪廓法觸針式表面粗糙度試儀進(jìn)行測量，也可與表面粗糙度樣塊比較來評定高精密鏡面火花機(jī)加工表面粗糙度。
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