數(shù)控機(jī)床維修常用診斷儀器（八）激光干涉儀

時間：2021/11/18閱讀：2215

激光干涉儀可對機(jī)床、三測機(jī)及各種定位裝置進(jìn)行高精度的（位置和幾何）精度校正。它與世界上其他激光干涉儀一樣，可*按標(biāo)準(zhǔn)測量各項參數(shù)，如線形位量精度、重復(fù)定位精度、角度、直線度、垂直度、平行度及平面度等。其次，它還具有其他選擇功能，如自動螺距誤差補償（適用大多數(shù)數(shù)控系統(tǒng)），機(jī)床動態(tài)特性測量與評估，回轉(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定，觸發(fā)脈沖輸入輸出功能等，泊頭巨人重工機(jī)械有限公司是一家專業(yè)生產(chǎn)、立車、數(shù)控立車、數(shù)控龍門銑床、龍門加工中心、數(shù)控落地鏜銑床的生產(chǎn)廠家，對激光干涉儀的選擇和應(yīng)用也有一定的心得。這里以雷尼紹(RENISHAW)公司激光干涉儀為例，介紹其功能：
    ①自動螺距誤差補償。激光干涉儀不僅能自動測量機(jī)器的位置精度，而且還能通過RS232接口使計算機(jī)和數(shù)控系統(tǒng)實現(xiàn)通信，對誤差進(jìn)行自動補償，它比通常的手工補償方法節(jié)省了大量時間，同時可限度地選用被測軸上的補償點數(shù)，使機(jī)床達(dá)到精度。
    ②回轉(zhuǎn)坐標(biāo)精度標(biāo)定?；剞D(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定可對數(shù)控轉(zhuǎn)臺在任意角度位置，以任意測量間隔進(jìn)行全自動測量及補償，其精度可達(dá)±1”。
    ③機(jī)床動態(tài)特性測試與評估。利用RENISHAW動態(tài)特性測量與軟件，可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析(FFT)，滾珠絲杠的動態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性（低速爬行）分析等等，從而幫助用戶對機(jī)器故障源進(jìn)行分析。
    ④觸發(fā)脈沖輸入輸出功能。利用觸發(fā)脈沖輸入，可實現(xiàn)外部控制激光干涉儀記錄數(shù)據(jù)，從而可實現(xiàn)類似于激光絲杠動態(tài)精度檢查儀的功能或機(jī)床傳動鏈精度檢查功能。
    利用觸發(fā)脈沖輸出，可用激光干涉儀定時或定距發(fā)出脈沖，從而實現(xiàn)類似于激光光刻機(jī)的功能。
    ⑤可選AB正交信號輸出。AB正交信號是標(biāo)準(zhǔn)光柵信號，由于RENISHAW激光干涉儀能輸出該信號，因而可將該激光干涉儀作為長度基準(zhǔn)用于其他場合，如動態(tài)光刻等。
    ⑥雙驅(qū)動同步校準(zhǔn)系統(tǒng)。在某些機(jī)器中，某一軸線運動由雙驅(qū)動和雙反饋系統(tǒng)控制（如龍門銑床和大型龍門移動的機(jī)器等），在這種情況下，雷尼紹雙軸校準(zhǔn)軟件可在一臺計算機(jī)上連接并控制兩個接口卡，提供了同步自動采集兩平行軸數(shù)據(jù)的能力。
    ⑦其他用戶接口裝置?？捎美啄峤B公司提供的特殊接口軟件，對于現(xiàn)有某些品牌的電子水平儀或數(shù)字指示儀器的用戶，配合雷尼紹激光干涉儀校準(zhǔn)軟件，實現(xiàn)直線度、平面度及垂直度等幾何精度的榆測。

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